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上海凯来谱半导体测试服务:碳化硅,石英,石墨,磷化铟中杂质金属测定,点阵飞秒激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法(fsLA-ICPMS)
来源:本站编辑 发布时间:2026-03-25 浏览量:24

上海凯来谱,专注提供激光剥蚀相关联用技术的应用开发和分析测试服务

合作、送样,请咨询: liupn@chemlabcorp.com

上海凯来谱依托上海凯来仪器强大的研发能力,配备世界一流的点阵飞秒激光剥蚀系统,专注提供激光剥蚀和ICPMS等技术联用的高端应用,提供微区元素定量,元素成像测试服务,覆盖地质,油气,考古,农业,生命科学,法医,高端材料,半导体,新能源电池等领域。

半导体材料如硅片,碳化硅,石英,玻璃,磷化铟以及生产所需原料如石墨等,金属杂质含量要求高,其测定方法一直是难点。传统湿化学方法操作繁杂,所需控制条件多,容易受污染,且对测试环境要求高。直接测定方法如GDMS,存在样品类型受限,以导体、半导体为主,绝缘体需借助RF-GD技术且分析效果有限,分析速度慢、破坏性强,⽆成像能⼒。而SIMS则拥有超高空间分辨能力,但价格不菲,一般用作工艺控制。

上海凯来谱采用凯来仪器最新自主研发的点阵飞秒激光剥蚀仪器,配合电感耦合等离子体质谱(LA-ICPMS),飞秒激光独特冷剥蚀,大大减少基体效应和元素分馏现象,提高测试准确度。

样品测试实例

半导体.png
半导体结果.png
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纯铜结果.png
 
近期有客户反馈,通过产品数据反演和测试数据比较(和GDMS比较),上海凯来谱提供的以点阵飞秒激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法测试碳化硅和相关原料中重重金属元素如铁镍等杂质元素的测定数据结果更准确的体现原料和产品的状态。

欢迎相关行业用户联系合作,可提供试测。

关于上海凯来谱

上海凯来谱科技有限公司为上海凯来仪器有限公司旗下全资子公司,成立于2020年4月,专注提供激光剥蚀相关联用技术的应用开发和分析测试服务,凯来谱总部位于中国(上海)自由贸易试验区临港新片区,目前已获得CMA证书、高新技术企业资质、ISO三体系认证及多项专利证书。目前已经在北京、武汉、成都、青岛多地建设实验室。

凯来谱实验室目前拥有2000平实验室,包括300平千级超净室,目前已经配备5套全新定制的Genesis系列新型飞秒激光剥蚀系统,10套电感耦合等离子质谱仪(单四极杆2套,三重四极杆7套,飞行时间质谱1套)。

 

凯来谱的核心专注领域包括:

·地球化学方法开发及测试服务,包括元素成像,微区原位分析(U-Pb同位素定年、主微量元素)

·生物组织成像及单细胞分析(质谱流式及质谱成像)

·高新材料分析

·文博考古珠宝玉石痕量杂质及原产地溯源分析

·贵金属合金痕量元素分析

 

凯来谱实验室全国分布

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